Volframi-raskasseos (WHA) -komponentit ioni-istutuksiin
Yleensä volframi ja molybdeeni ovat tärkeitä materiaaleja ioni-istutusjärjestelmissä käytettäville komponenteille, erityisesti säteen reitillä. Nämä materiaalit valitaan sen perusteella, että ne kestävät ankarat ioni-istuttamisen olosuhteet, mukaan lukien korkeat lämpötilat, voimakkaat magneettikentät ja aggressiiviset prosessikaasut.
Miksi volframi ja molybdeeni?
Korkeat sulamispisteet:
Sekä volframilla että molybdeenillä on erittäin korkeat sulamispisteet, minkä ansiosta ne kestävät äärimmäisiä lämpötiloja, jotka syntyvät ioni-istuttamisen aikana.
Korroosionkestävyys:
Niillä on erinomainen korroosionkestävyys, mikä on elintärkeää, kun ne altistetaan reaktiivisille kaasuille ja ioni-istutusprosessin sivutuotteille.
Suuri lujuus ja lämmönjohtavuus:
Nämä ominaisuudet ovat välttämättömiä komponenttien rakenteellisen eheyden säilyttämiseksi ja lämmön tehokkaan hajauttamisen kannalta käytön aikana.
Korkea puhtaus:
Erittäin puhtaat materiaalit minimoivat ionisäteen ja istutetun materiaalin kontaminaatiota.
Tyypilliset volframista ja molybdeenistä valmistetut ioni-istutuskomponentit:
Kammiot:
Tyhjiökammiot, joissa ionilähde ja kohdealue sijaitsevat, on usein valmistettu volframista, molybdeenistä tai niiden seoksista.
Filamentit:
Ionilähteissä volframista tai volframiseoksista valmistettuja filamentteja käytetään tuottamaan plasma, josta ionit uutetaan.
Kaaren raot:
Nämä komponentit auttavat muotoilemaan ja ohjaamaan ionisuihkua, ja ne on usein valmistettu volframista tai molybdeenistä.
Pitimet ja katodit:
Näistä tulenkestävistä metalleista valmistetaan erilaisia pidikkeitä ja katodeja ionilähteen ja säteen reitin sisällä.
Varaosat:
Volframi- ja molybdeenikomponentteja käytetään myös erilaisiin varaosiin ja vaihtoihin implantterin sisällä.
Beamline-komponentit:
Sädelinjan sisällä olevat komponentit, kuten säteen rajoittimet ja aukot, voidaan myös valmistaa volframista tai molybdeenistä.
Esimerkkejä ioni-istutuskomponentteja toimittavista yrityksistä:
Kuitenkin volframi raskaat metalliseokset (WHA), erityisesti W-Ni-Fe- ja W-Ni-Cu-koostumukset, ovat laajalti käytössä ioni-istutusjärjestelmissä niiden poikkeuksellisen tiheyden, säteilysuojausominaisuuksien ja lämpöstabiilisuuden vuoksi. Nämä seokset ovat ihanteellisia komponenteille, jotka vaativat suurta massaa, kestävyyttä ja ionipommituksen kestävyyttä.
Tärkeimmät ominaisuudet ioni-istutussovelluksiin
✔ Korkea tiheys (17-18,5 g/cm³) – Tehokas ionisironnan estämiseen ja säteen hallinnan parantamiseen.
✔ Erinomainen säteilysuojaus – Minimoi röntgen- ja sekundaarielektronipäästöt.
✔ Korkea sulamispiste ja lämpöstabiilius – Kestää korkean{0}}energian ionipommituksen ilman muodonmuutoksia.
✔ Hyvä työstettävyys – Voidaan työstää tarkasti-monimutkaisiin muotoihin (verrattuna puhtaaseen volframiin).
✔ Alhainen kaasuntuotto – kriittinen korkean tyhjiön ylläpitämiseksi ioni-implantereissa.
Yleiset WHA-komponentit ioni-istutuksissa
Säteen pysäyttimet ja aukot – Ohjaa ja muotoilee ionisäteitä.
Faraday Cups – Mittaa ionisäteen virran tarkasti.
Suojauslohkot ja kollimaattorit – Vähentää ei-toivottua ionisirontaa.
Kiekkojen käsittelykomponentit – Kestävät osat puolijohteiden käsittelyyn.
Eristyskomponentit – Korkea dielektrinen lujuus tarvittaessa.
Miksi valita WHA puhtaan volframin sijaan?
Parempi työstettävyys (Ni/Fe/Cu-sideainefaasin ansiosta).
Korkeampi murtolujuus (vähemmän hauras kuin puhdas W).
Kustannustehokas-monimutkaisille geometrioille.
Saatavilla olevat arvosanat ja mukautukset
Vakiolaadut: W90NiFe, W93NiFe, W95NiFe, W97NiFe
Räätälöidyt koostumukset ja mitat (tangot, levyt, koneistetut osat)
Pintakäsittelyt: Kiillotettu, hiottu tai pinnoitettu suorituskyvyn parantamiseksi.
Jos sinulla on kysyttävää, ota meihin yhteyttä: info@yitechtrading.com