Sputteroivat kohteet voidaan jakaa tasomaisiin ja pyöriviin kohteisiin niiden muodon mukaan. Tasomaalit ovat pitkiä, neliömäisiä tai tietyn paksuisia pyöreitä kohteita jne., jotka valmistetaan sitomalla maaliaihio ja taustalevy. Sputteroinnin aikana kohdeaihio ja substraatti ovat rinnakkain toistensa kanssa ja kohdeaihion ja alustan väliin muodostuu sähkömagneettinen kenttä. Pyörivät kohteet ovat putkimaisia kohteita, ja sähkömagneettinen kenttä muodostuu substraattia kohti sputteroinnin aikana. Tasomaiset kohteet ovat monipuolisempia, mutta niiden käyttöaste on alhaisempi; pyörivillä kohteilla on korkeampi käyttöaste, mutta huono pinnoitteen tasaisuus.
Pyörivien kohteiden edut
1. Pyörivien kohteiden materiaalin käyttöaste on korkeampi
Pyörivät maalitaulut voivat kuluttaa kohdepinnan tasaisesti pyörimisen aikana, mikä parantaa kohteen materiaalinkäyttöä, joka voi yleensä olla 70-90 %. Koska sputteroinnissa on kuitenkin vain yksi kiinteä puoli tasomaisesta kohteesta, käytön aikana muodostuu "uria" tai "kuoppia", mikä johtaa epätasaiseen materiaalinkulutukseen ja materiaalin käyttöaste on yleensä 30-40 %. Kalliissa kohteissa (kuten jalometallit tai harvinaiset maametallit) pyörivät kohteet voivat vähentää merkittävästi kustannuksia ja parantaa taloudellisia hyötyjä.
2. Pyörivien kohteiden ruiskutuksen tasaisuus on parempi
Pyörivät kohteet pyörivät jatkuvasti käytön aikana, joten jokainen kohde pinnalla oleva kohta on tasaisesti alttiina plasmalle, mikä muodostaa tasaisemman sputterointinopeuden. Tällä on ilmeisiä etuja sovelluksissa, joissa kalvon tasaisuusvaatimukset ovat korkeat (kuten näytöt ja puolijohdeprosessit). Tasomaiset kohteet ovat alttiita epätasaiselle kalvonpaksuudelle paikallisen yli-sputteroinnin vuoksi, erityisesti suurilla-pinta-alalla tai jatkuvassa tuotannossa.
3. Pyörivien kohteiden käyttöikä on pidempi
Koska pyörivät maalitaulut kuluttavat tasaisempaa materiaalia, on niiden käyttöikä yleensä pidempi kuin tasomaisten kohteiden. Tämä tarkoittaa, että samoissa työoloissa pyörivän kohteen vaihtotaajuus on pienempi, mikä vähentää laitteiden seisokkiaikaa ja parantaa tuotannon tehokkuutta. Joissakin jatkuvissa tuotantoprosesseissa, kuten suuren-pinta-alan pinnoituksessa ja rullan-to-päällyksessä, pyörivä kohde voi pidentää merkittävästi tuotantosykliä ja vähentää ylläpitokustannuksia.
4. Pyörivien kohteiden kalvolaatu on parempi
Pyörivän kohteen ruiskuttama kalvokerros on tiheämpi ja tasaisempi, mikä sopii joihinkin sovelluksiin, joissa kalvon laatuvaatimukset ovat erittäin korkeat (kuten huippuluokan elektroniikkalaitteiden ja puolijohdelaitteiden valmistukseen). Tämä johtuu siitä, että pyörivä kohde voi tehokkaasti vähentää epätasaisen sputteroinnin aiheuttamia vikoja kohdepinnalla ja parantaa kalvokerroksen laatua ja konsistenssia.
Johtopäätös
Tasomaisiin kohteisiin verrattuna pyörivillä kohteilla on korkeampi materiaalin käyttöaste, pidempi käyttöikä, tasaisempi sputterointivaikutus ja sopeutumiskyky laajalle-alueelle ja suuriin{1}}volyymeihin. Tämä tekee pyörivistä kohteista tärkeän valinnan nykyaikaisen ohutkalvopinnoituksen alalla, erityisesti suuren-pinta-alan pinnoituksessa, jatkuvassa tuotannossa ja huippuluokan-elektroniikkalaitteiden valmistuksessa.